Alüminyum, iyi elektrik ve ısı iletkenliğine sahip olmasının yanı sıra işlenme kolaylığına sahip hafif bir metaldir ve bu da onu yarı iletken üretiminde önemli bir malzeme haline getirir. Alüminyumun ana avantajları şunlardır:
1. Elektriksel iletkenlik: Alüminyum iyi bir iletken metaldir, iletkenliği bakır kadar iyi değildir ancak atom kütlesinin daha hafif olması nedeniyle alüminyum yüksek frekanslı sinyal iletiminde daha iyi performans gösterir.
2. İşlenebilirlik: Alüminyum, ince film biriktirme işleminde düzgün ve yoğun bir film oluşturmak için iyi bir süneklik ve plastikliğe sahiptir.
3. Korozyon direnci: Havadaki alüminyum, yoğun bir alüminyum oksit film tabakası oluşturabilir, bu da bazı ortamlarda belirli bir korozyon direncine sahip olmasını sağlar.
4. Düşük maliyet: Bakır ve altınla karşılaştırıldığında alüminyum daha ucuzdur, bu da onu seri üretim için ekonomik açıdan avantajlı kılar.